光引发剂
光引发剂 PAG-023
(4-氟苯基)二苯基锍三氟甲磺酸盐
化学放大抗蚀剂与高酸度固化用三氟甲磺酸光产酸剂。
产品描述
PAG-023是二芳基(4-氟苯基)锍三氟甲磺酸盐。三氟甲磺酸根是UV照射下可释放的最强酸之一，使PAG-023成为化学放大抗蚀剂、脱保护成像化学及苛刻阳离子配方的首选产酸剂。
其非亲核性酸不会终止增长的阳离子链，保障精密成像与微电子中聚合架构的洁净。典型用量视酸需求0.5–2 wt%。
产品特点
- 三氟甲磺酸根——顶级酸强度
- 非亲核性酸保障阳离子聚合洁净
- 契合化学放大抗蚀剂化学
- 白色热稳定粉末
应用领域
- 化学放大光刻胶
- 微电子成像
- 阳离子环氧与乙烯基醚固化
- 脱保护成像化学
- 精密光学胶粘剂
技术指标
| CAS 号 | — |
|---|---|
| 分子式 | C19H14F4O3S2 |
| 分子量 | 430.44 |
| 外观 | 白色至类白色粉末 |
| 含量（HPLC） | ≥ 98.0% |
| 干燥失重 | ≤ 0.5% |
包装与储存
1 kg / 5 kg铝箔瓶、25 kg纤维板桶。避光、阴凉干燥储存，原包装保质期24个月。
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